Новите капацитивни манометри на Pfeiffer са специално разработени за вакуум системи в тежки експлоатационни условия

Както и останалите продукти от гамата CenterLine, новите манометри осигуряват надеждни измервания дори в най-суровите условия на работа, характеризират се с оптимално съотношение цена/производителност и позволяват лесна интеграция в съществуващи инсталации с измервателна технология от други производители.

Вакуумметрите от новата серия CenterLine CNR са в състояние да измерват в пълния си диапазон между 0.1 и 1000 Torr (1 Torr=133.322 Pa), като запазват прецизността си в продължение на четири десетилетия. Уредите се предлагат в два варианта: нагрявани – сензорната глава се поддържа при постоянна температура (обикновено около 45 °C, 100 °C или 200 °C), и ненагрявани – сензорът работи при стайна температура или без активно подгряване. Налични са и самонагряващи се версии за 45, 100, 160 и 200 °C.

Серията включва пет различни версии: 36x, 37x, 38x, 39x и 30x, като всички са съвместими със SEMI S2. 36x е ненагряван вариант за надеждни измервания с точност от 0.2. Вариантът с възможност за монтаж под 45 °C от своя страна осигурява точност от 0.15, което го прави отличен за калибровъчни лаборатории и висококачествен контрол. С точност от 0.4%, другите самонагряващи се версии позволяват по-висока точност на отчитанията при високотемпературни процеси или процеси с горещи газове в сравнение с други манометри.

Манометрите CNR могат да се използват в комбинация с вентили за регулиране на налягането и са приложими в широк спектър от процеси в полупроводниковата индустрия, като например сухо ецване, CVD (Chemical Vapor Deposition) и ALD (Atomic Layer Deposition). Но също така устройствата са подходящи за анализи, научноизследователска и развойна дейност и различни други индустрии.

Диафрагменият сензор – „сърцето“ на измервателното устройство – е защитен от стабилен и устойчив керамичен щит, покрит чрез химично отлагане на атомен слой (ALD). Щитът предпазва сензора както от излагане на високи температури на технологичните газове, така и от потенциална корозия, като така осигурява минимално замърсяване, по-висока надеждност и точност, както и по-дълъг живот на сензора, дори при агресивна плазма. Тъй като дрейфът на сензора също е намален, калибриране се изисква по-рядко и по този начин общите разходи за притежание се намаляват.

Манометрите от серията CenterLine CNR са оборудвани със специална настройка на филтъра, известна като „p-контрол“, или контрол на налягането. Тя е проектирана да бъде бърза и адаптивна, което позволява на манометъра да реагира по-бързо на промените в налягането, както и да осигурява неговия точен и плавен контрол. Тази функция е особено ефективна в комбинация с вентил за контрол на налягането.